Вакуумные масла эксплуатируются в вакуумных агрегатах. Характерны их высокая чистота и минимальная способность к растворению и выделению газов. Основа минеральных вакуумных масел — нефтепродукты, прошедшие спецобработку, содержащие добавки, моделирующие базовые качества.
Густые масла используются при высоких температурах, на холоде — жидкие. Полусинтетическое вакуумное масло — смесь нефтепродуктов и синтетических углеводородов — устойчиво к окислению, коксованию, плохо смешивается с парами жидкостей.
Синтетическое вакуумное масло создано из синтетических углеводородов с введением добавок. Специальное синтетическое вакуумное масло — смесь углеродов, кислорода и фтора. Имеет высокую устойчивость к окислению, воздействию химических веществ и температуры.